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工艺上海硅片上海先进国内首条MEMS工艺实现量产

“上海先进”(ASMC/上海先进半导体制造股份有限公司)在MEMS(微机电系统)代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时首条MEMS工艺生产线已进入量产。

“上海先进”MEMS生产线可以代工的器件包括:三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等,可被广泛应用于消费电子医疗电子以及汽车电子等领域。

目前,此MEMS生产线拥有世界最先进的深槽刻蚀、键合、硅片边缘修整等设备,设计月产量可达3000片;具有较大的适用范围,包括MEMS前道(不含可动离子沾污)和后道(包含可动离子沾污的玻璃工艺)工艺。前道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、离子注入以及薄膜等;后道工艺包括光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、扩散、薄膜、硅片键合、硅片减薄、边缘切割以及划片等。此外“上海先进”还拥有全部的工艺在线检测设备,具有在线缺陷检测能力以及用于器件测试的直、交流测试能力。

“上海先进”总裁谢志峰博士表示ASMC会继续扩充MEMS器件的制造产能和工艺研发,以进一步增强服务MEMS器件客户的能力。

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